Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова

Abstract

Для снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых дат- чиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, были проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверх- ности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al / SnO2. Выявлено, что длительная ра- бота гетеросистем при температурах 400 °С приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. В работе рассмотрены физиче- ские механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового дат- чика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих кон- тактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структуре.