Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2376
Назва: Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Автори: Пирогов, Олександр Вікторович
Хрипунов, Геннадий Семенович
Новиков, Виталий Александрович
Ключові слова: диоксид олова
плёнки
структурные превращения
электропроводность
Дата публікації: 2014
Видавництво: Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
Бібліографічний опис: Физическая инженерия поверхности
Короткий огляд (реферат): Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Показано, что количественный характер изменения электропроводности при отжиге зависит от температуры осаждения пленок, поскольку она определяет содержание субоксидов, а также соотношение между аморфной и кристаллической фазой диоксида олова. Идентифицированы два конкурирующих термически активированных структурных процесса, оказывающих влияние на технические параметры активных слоев газовых датчиков на основе пленок оксида олова. Предложено конструктивно-технологическое решение активного слоя с высокой газочувствительностью, воспроизводимостью и стабильностью.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2376
ISSN: 1999-8112
Розташовується у зібраннях:Кафедра пожежної профілактики в населених пунктах

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
ФИП 2014 3 .pdfОсновная статья1,04 MBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.