Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Abstract

Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Показано, что количественный характер изменения электропроводности при отжиге зависит от температуры осаждения пленок, поскольку она определяет содержание субоксидов, а также соотношение между аморфной и кристаллической фазой диоксида олова. Идентифицированы два конкурирующих термически активированных структурных процесса, оказывающих влияние на технические параметры активных слоев газовых датчиков на основе пленок оксида олова. Предложено конструктивно-технологическое решение активного слоя с высокой газочувствительностью, воспроизводимостью и стабильностью.