Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления

Пирогов, Олександр Вікторович; Хрипунов, Геннадий Семенович; Новиков, Виталий Александрович; Хрипунова, Алина Леонидовна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Пирогов, Олександр Вікторович	-
dc.contributor.author	Хрипунов, Геннадий Семенович	-
dc.contributor.author	Новиков, Виталий Александрович	-
dc.contributor.author	Хрипунова, Алина Леонидовна	-
dc.date.accessioned	2017-06-20T06:45:23Z	-
dc.date.available	2017-06-20T06:45:23Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Сенсорная электроника и микросистемные технологии	ru_RU
dc.identifier.issn	1815-7459	-
dc.identifier.uri	http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397	-
dc.description.abstract	Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова,. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств, необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50%.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова	ru_RU
dc.subject	диоксид олова	ru_RU
dc.subject	плёнки	ru_RU
dc.subject	магнетронное распыление	ru_RU
dc.subject	электропроводность	ru_RU
dc.title	Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления	ru_RU
Appears in Collections:	Кафедра державного нагляду у сфері пожежної та техногенної безпеки

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Сенсорная электроника_статья.pdf	Основная статья	642,8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record