Please use this identifier to cite or link to this item:
http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397| Title: | Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления |
| Authors: | Пирогов, Олександр Вікторович Хрипунов, Геннадий Семенович Новиков, Виталий Александрович Хрипунова, Алина Леонидовна |
| Keywords: | диоксид олова плёнки магнетронное распыление электропроводность |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова |
| Citation: | Сенсорная электроника и микросистемные технологии |
| Abstract: | Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова,. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств, необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50%. |
| URI: | http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397 |
| ISSN: | 1815-7459 |
| Appears in Collections: | Кафедра пожежної профілактики в населених пунктах |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Сенсорная электроника_статья.pdf | Основная статья | 642,8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.