Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397| Назва: | Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO2, полученных методом магнетронного распыления |
| Автори: | Пирогов, Олександр Вікторович Хрипунов, Геннадий Семенович Новиков, Виталий Александрович Хрипунова, Алина Леонидовна |
| Ключові слова: | диоксид олова плёнки магнетронное распыление электропроводность |
| Дата публікації: | 2014 |
| Видавництво: | Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова |
| Бібліографічний опис: | Сенсорная электроника и микросистемные технологии |
| Короткий огляд (реферат): | Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова,. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств, необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50%. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2397 |
| ISSN: | 1815-7459 |
| Розташовується у зібраннях: | Кафедра державного нагляду у сфері пожежної та техногенної безпеки |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Сенсорная электроника_статья.pdf | Основная статья | 642,8 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.