1. eNUCPUIR
  2. Навчально-науковий інститут пожежної та техногенної безпеки
  3. Кафедра державного нагляду у сфері пожежної та техногенної безпеки
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535
Повний запис метаданих
Поле DCЗначенняМова
dc.contributor.authorПирогов, Олександр Вікторович-
dc.contributor.authorХрипунов, Геннадий Семенович-
dc.contributor.authorКривошеев, Сергей Юрьевич-
dc.contributor.authorНовиков, Виталий Александрович-
dc.date.accessioned2017-06-20T09:08:50Z-
dc.date.available2017-06-20T09:08:50Z-
dc.date.issued2014-09-
dc.identifier.citationЭнергосбережение. Энергетика. Энергоаудит.ru_RU
dc.identifier.issn2218-1849-
dc.identifier.urihttp://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535-
dc.description.abstractПроведено оптимизацию технологического процесса получения газочувствительных пленок диоксида олова методом магнетронного распыления с последующим отжигом на воздухе. Экспериментально доказано, что газочувствительность пленок диоксида олова увеличивается при увеличении концентрации кислорода в составе распыляющего газа, снижении температуры подложки и уменьшение толщины слоя. Рассмотрены физические механизмы обуславливающие наблюдаемые экспериментальные закономерности.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherНациональный технический университет «Харьковский политехнический институт»ru_RU
dc.subjectгазочувствительностьru_RU
dc.subjectплёнкиru_RU
dc.subjectдиоксид оловаru_RU
dc.subjectмагнетронное распылениеru_RU
dc.subjectотжигru_RU
dc.titleПолучение пленок диоксида олова для энергосберегающих газовых датчиковru_RU
Розташовується у зібраннях:Кафедра державного нагляду у сфері пожежної та техногенної безпеки

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
odessa_2014__dioksid_olova.pdfОсновная статья422,06 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати базовий опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.