Please use this identifier to cite or link to this item:
http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535| Title: | Получение пленок диоксида олова для энергосберегающих газовых датчиков |
| Authors: | Пирогов, Олександр Вікторович Хрипунов, Геннадий Семенович Кривошеев, Сергей Юрьевич Новиков, Виталий Александрович |
| Keywords: | газочувствительность плёнки диоксид олова магнетронное распыление отжиг |
| Issue Date: | Sep-2014 |
| Publisher: | Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт» |
| Citation: | Энергосбережение. Энергетика. Энергоаудит. |
| Abstract: | Проведено оптимизацию технологического процесса получения газочувствительных пленок диоксида олова методом магнетронного распыления с последующим отжигом на воздухе. Экспериментально доказано, что газочувствительность пленок диоксида олова увеличивается при увеличении концентрации кислорода в составе распыляющего газа, снижении температуры подложки и уменьшение толщины слоя. Рассмотрены физические механизмы обуславливающие наблюдаемые экспериментальные закономерности. |
| URI: | http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535 |
| ISSN: | 2218-1849 |
| Appears in Collections: | Кафедра державного нагляду у сфері пожежної та техногенної безпеки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| odessa_2014__dioksid_olova.pdf | Основная статья | 422,06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.