Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535| Назва: | Получение пленок диоксида олова для энергосберегающих газовых датчиков |
| Автори: | Пирогов, Олександр Вікторович Хрипунов, Геннадий Семенович Кривошеев, Сергей Юрьевич Новиков, Виталий Александрович |
| Ключові слова: | газочувствительность плёнки диоксид олова магнетронное распыление отжиг |
| Дата публікації: | вер-2014 |
| Видавництво: | Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт» |
| Бібліографічний опис: | Энергосбережение. Энергетика. Энергоаудит. |
| Короткий огляд (реферат): | Проведено оптимизацию технологического процесса получения газочувствительных пленок диоксида олова методом магнетронного распыления с последующим отжигом на воздухе. Экспериментально доказано, что газочувствительность пленок диоксида олова увеличивается при увеличении концентрации кислорода в составе распыляющего газа, снижении температуры подложки и уменьшение толщины слоя. Рассмотрены физические механизмы обуславливающие наблюдаемые экспериментальные закономерности. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/2535 |
| ISSN: | 2218-1849 |
| Розташовується у зібраннях: | Кафедра пожежної профілактики в населених пунктах |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| odessa_2014__dioksid_olova.pdf | Основная статья | 422,06 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.