Аналіз напівпровідникових сенсорів сучасних газоаналізаторів

Abstract

В роботі розглядаються твердотільні газові сенсори, які є складовою сучасного газоаналізатора. За принципом функціонування газові сен- сори розділені на кілька основних категорій: електрохімічні, термохімічні (термокаталітичні), масочутливі оптичні та напівпровідникові. Наведено переваги використання напівпровідникових сенсорів на основі оксидів. Проведено аналіз напівпровідникових сенсорів для сучасних газоаналізаторів, в основі якого лежить залежність чутливості сенсора від вмісту шкідливого або небезпечного газу, що міститься в повітрі, в обмеженому просторі.