Фізико-технологічні основи отримання активних елементів газових датчиків

Abstract

Монографія присвячена дослідженню перспективних газочутливих елементів газових датчиків на основі плівки діоксиду олова. Розглянуті питанням забезпечення відтворення і стабільності електричних властивостей плівок діоксиду олова. Для вирішення цих питань автори розглядають підхід, оснований на розв’язанні прямої матеріалознавчої задачі, що включає дослідження таких плівок, отриманих за допомогою методу нереактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. За результатами досліджень закладено фундамент вдосконалення конструктивно-технологічних рішень плівкових газових датчиків, що також знаходить своє застосування при створенні економічних тонкоплівкових сонячних елементів (СЕ) на основі CdS/CdTe.